三甲基氯硅烷(trimethylchlorosilane)为无色透明液体，有刺激臭味，在空气中暴露，易和潮气反应产生氯化氢。

CAS号:75-77-4

分子式:C3H9ClSi

分子量:108.64

EINECS号:200-900-5

熔点：?40 °C

沸点：57 °C

密度：0.857 g/mL

闪点：104 °F

有机合成中间体，制备硅酮树脂、硅橡胶、高温粘合剂等的原料，密封剂，干燥剂，脱水剂。 生产多种有机硅化合物，是生产六甲基二硅氮（胺）烷和六甲基二硅氧烷的主要原料。